- Артикул:00-01032336
- Автор: Данилин Б.С.
- Обложка: Твердая обложка
- Издательство: Энергия (все книги издательства)
- Город: Москва
- Страниц: 312
- Формат: 84х108 1/32
- Год: 1967
- Вес: 524 г
Развернуть ▼
В книге рассматриваются способы получения и обработки, а также методы измерения скорости напыления и толщины тонкопленочных слоев и основные области применения тонких пленок. Излагаются требования к вакууму и составу остаточной среды при термическом испарении и катодном распылении и описываются современные средства получения и измерения вакуума, а также оборудование и аппаратура, используемые при получении тонких пленок.
Книга рассчитана на широкий круг лиц, занимающихся конструированием, монтажом и эксплуатацией вакуумного напылительного оборудования и получением тонких пленок
Оглавление
Предисловие
Глава первая. Получение и применение тонких пленок
1-1. Термическое испарение в вакууме
1-2. Обработка пленок с помощью электронных и ионных пучков и оптических квантовых генераторов
1-3. Катодное распыление
1-4. Ионно-плазменное распыление
1-5. Осаждение пленок из паровой и газовой фаз
1-6. Тонкопленочные микросхемы
1-7. Тонкие пленки в технике СВЧ, оптике и запоминающих устройствах
Глава вторая. Получение и измерение вакуума
2-1. Требования к вакууму и составу остаточной среды при напылении тонких пленок
2-2. Откачные средства
2-3. Приборы для измерения вакуума и парциальных давлений
Глава третья. Вакуумное напылительное оборудование
3-1. Вакуумные конструкционные материалы
3-2. Конструкционные элементы вакуумных напылительных установок
3-3. Испарители
3-4. Контроль скорости напыления и толщины тонких пленок
3-5. Вакуумные напылительные установки и линии
Литература
Рекомендуем
