- Артикул:00-01095292
- Автор: А. В. Фомин, Ю. И. Боченков, В. А. Сорокопуд
- Обложка: Твердая обложка
- Издательство: Радио и связь (все книги издательства)
- Город: Москва
- Страниц: 352
- Формат: 84x108 1/32
- Год: 1981
- Вес: 516 г
- Серия: Учебное пособие для ВУЗов (все книги серии)
Развернуть ▼
Рассматриваются методы расчета и обеспечения качества микросхем, методы и особенности расчета надежности, функциональной точности и технологической воспроизводимости БГИС и микросборок. Излагаются основные технологические процессы производства БГИС и микросборок. Рассмотрены системы и методы автоматизированного проектирования БГИС и микросборок и аппаратуры на их основе, методы моделирования и управления технологическими процессами производства БГИС и микросборок.
Предназначается для студентов вузов и специалистов, занимающихся конструированием и производством радиоэлектронной и электронно-вычислительной аппаратуры.
Оглавление
Предисловие
Введение
Глава 1. Современное состояние и перспективы развития интегральной техники
1.1. Общие сведения об интегральных схемах
1.2. Особенности конструкции тонкопленочных БГИС и микросборок
1.3. Особенности конструкции и технологии толстопленочных БГИС
1.4. Эволюция развития и перспективы применения гибридных ИС в МЭА
Глава 2. Технология напыления тонких пленок
2.1. Подложки и надежность элементов БГИС
2.2. Физические основы термовакуумного испарения материалов и конденсации тонких пленок
2.3. Технология напыления проводящих, резистивных п диэлектрических пленок
2.4. Получение тонких пленок методом ионного распыления материалов
Глава 3. Методы получения тонкопленочных элементов микросхем
3.1. Фотолитография
3.2. Масочные методы получения рисунка микросхем
3.3. Методы повышения точности параметров тонкопленочных элементов БГИС
3.4. Сравнение различных методов формирования рисунка микросхемы
Глава 4. Сборочно-монтажные процессы в технологии БГИС
4.1. Монтаж навесных компонентов БГИС
4.2. Надежность контактных соединений
4.3. Герметизация микросхем
Глава 5. Обеспечение качества функционирования и технологической воспроизводимости БГИС
5.1. Критерии оценки и расчет технологической воспроизводимости БГИС
5.2. Методы подгонки
5.3. Анализ качества ИС при определении их состава в БГИС
Глава 6. Анализ физики и механизмов отказов ИС
6.1. Анализ причин ненадежности ИС. Виды отказов и повреждений
6.2. Физические пределы микроминиатюризации биполярных и МОП ИС
Глава 7. Методы оценки и обеспечения надежности ИС
7.1. Статистический метод оценки
7.2. Причинный (физический) метод оценки
7.3. Технологическое резервирование
Глава 8. Расчет надежности БГИС и микросборок по постепенным отказам
8.1. Влияние постепенных изменений параметров элементов и компонентов БГИС на надежность
8.2. Методы расчета надежности БГИС по постепенным отказам
Глава 9. Автоматизация конструирования БГИС и микросборок
9.1. Системы автоматизированного проектирования БГИС принципы их построения
9.2. Особенности автоматизации конструирования БГИС
9.3. Технические средства автоматизации конструирования и технологической подготовки производства БГИС и МСБ
9.4. Методы и алгоритмы автоматизированного конструирования БГИС и микросборок
Глава 10. Автоматизация технологической подготовки производства БГИС и микросборок
10.1. Задачи автоматизации технологической подготовки производства БГИС в рамках единой системы технологической подготовки производства
10.2. Математическое моделирование технологических процессов производства БГИС и микросборок
10.3. Автоматизация изготовления технической документации и фотошаблонов
Глава 11. Автоматизация управления технологическими процессами производства БГИС и МСБ
11.1. Структура и состав АСУТП производства БГИС и МСБ
14.2. Автоматизированная система управления технологическим процессом изготовления пассивной части толсто пленочных БГИС
Приложение 1. Технические характеристики устройств изготовления технической документации и технологической оснастки
Приложение 2. Технические характеристики микро-ЭВМ для АСУТП
Заключение
Список литературы
Предметный указатель
Рекомендуем
