Технологии электронной компонентной базы

Под заказ Цена за шт.

1750

Количество
Купить

Акции и скидки Поделиться


  • Артикул:00-01037997
  • Автор: Хорин И.А.
  • ISBN: 978-5-4486-0210-8
  • Обложка: Твердая обложка
  • Издательство: Ай Пи Ар Медиа (все книги издательства)
  • Город: Саратов
  • Страниц: 280
  • Формат: 60x90/16 (~145х215 мм)
  • Год: 2018
  • Вес: 427 г
  • Серия: Учебное пособие для ВУЗов (все книги серии)
Развернуть ▼

В учебном пособии рассмотрены ключевые технологии электронной компонентной базы, такие как получение полупроводниковых пластин, легирование, литография, травление, осаждение пленок, быстрые термические отжиги, сборка микросхем. Дан анализ современного состояния и тенденций развития электроники. Особое внимание уделяется получению наноструктур при оптической литографии, технологии «Кремний на изоляторе» и формированию систем многоуровневой металлизации ИС.

Содержание
Введение
Глава 1. Электроника и тенденции ее развития
Глава 2. Чистые промышленные помещения
Глава 3. Кремний — основной материал микроэлектроники
Глава 4. Выращивание объемных п/п монокристаллов
4.1. Получение кристаллов из жидкой фазы
4.1.1. Выращивание кристаллов из расплава
Методы нормальной направленной кристаллизации
Методы вытягивания кристаллов из расплава
Выращивание кристаллов методами зонной плавки
4.1.2. Выращивание монокристаллов из раствора
4.2. Выращивание кристаллов из газообразной фазы
4.2.1. Метод сублимации-конденсации
4.2.2. Метод химических реакций
4.2.3. Метод химического транспорта
Глава 5. Получение чистых п/п материалов
5.1. Кристаллизационные методы очистки
5.2. Методы и принципиальные возможности очистки кристаллизацией
5.3. Модификация метода очистки зонной плавкой
Глава 6. Легирование п/п материалов
6.1. Легирование уже выращенных кристаллов
6.2. Легирование объемных кристаллов в процессе выращивания из жидкой фазы
6.2.1. Первая группа методов выравнивания состава кристаллов
Механическая подпитка расплава твердой фазой
Механическая подпитка расплава жидкой фазой
Механическая подпитка расплава газовой фазой
6.2.2. Вторая группа методов выравнивания состава кристаллов (изменение условий выращивания)
Глава 7. Монокристаллические пленки
7.1. Эпитаксия
7.2. Особенности гетероэпитаксии
7.3. Причины образования структурных дефектов
7.4. Методы эпитаксии
7.4.1. Жидкостная эпитаксия
7.4.2. Эпитаксия из газообразной фазы
Метод химических реакций
Метод газотранспортных реакций
7.4.3. Молекулярно-лучевая эпитаксия
Глава 8. Окончательная обработка кремния
Глава 9. Технохимические процессы подготовки п/п подложек
9.1. Отмывка п/п подложек
9.2. Химическая обработка п/п подложек
9.3. Химико-динамическая обработка п/п подложек
9.4. Электрохимическая обработка п/п подложек
9.5. Парогазовая обработка кремниевых подложек
9.6. Ионно-плазменная обработка п/п подложек
9.7. Плазмохимическая обработка п/п подложек
9.8. Другие методы вакуумной очистки поверхности
Глава 10. Литографические процессы
10.1. Фоторезисты и их свойства
10.2. Нанесение фотослоя
10.3. Сушка фоторезиста
10.4. Совмещение и экспонирование
10.5. Проявление
10.6. Травление
10.7. Изготовление фотошаблонов
10.8. Субтрактивные и аддитивные методы переноса рисунка
10.9. Побочные эффекты
10.10. Селективность и контроль размеров элементов
Глава 11. Методы оптической литографии
Глава 12. Получение наноструктур при оптической литографии
12.1. Фазосдвигающие маски
12.2. Многослойные резисты
12.3. Внеосевое освещение
12.4. Иммерсионная литография
12.5. Суб-40 нм структуры
Глава 13. Другие виды литографии
13.1. Рентгеновская литография
13.1.1. Общее описание рентгеновской литографии
13.1.2. Принципиальная схема установки для рентгеновской литографии
13.1.3. Резисты для рентгеновской литографии
13.1.4. Шаблоны для рентгеновской литографии
13.2. Литография с экстремальным ультрафиолетом
13.3. Электронно-лучевая литография
13.3.1. Проекционная электронно-лучевая литография
13.3.2. Сканирующая электронно-лучевая литография
13.4. Ионно-лучевая литография (ИЛЛ)
Глава 14. Травление микро- и наноструктур
14.1. Классификация методов травления
14.2. Жидкостное химическое травление
14.3. Вакуумно-плазменные (сухие) методы травления
Глава 15. Двойной дамасцен Процесс
Глава 16. Технология «Кремний на изоляторе»
Глава 17. Легирование п/п материалов
17.1. Легирование методом термической диффузии примесей
17.1.1. Диффузия из постоянного внешнего источника
17.1.2. Диффузия из конечного поверхностного источника
17.1.3. Рабочая камера диффузионной печи
17.2. Ионная имплантация
Глава 18. Получение пленок оксида и нитрида кремния
Глава 19. Быстрый термический отжиг
Глава 20. Основы толстопленочной технологии
Глава 21. Методы физического осаждения тонких пленок в вакууме.
21.1. Термическое вакуумное напыление
21.2. Электронно-лучевое испарение
21.3. Лазерное испарение
21.4. Ионно-лучевое распыление
21.5. Катодное распыление
21.6. Распыление в триодных устройствах
21.7. Высокочастотное распыление
21.8. Магнетронное распыление
Глава 22. Химическое осаждение из газовой фазы
Глава 23. Системы металлизации ИС, контактные и барьерные слои
23.1. Контактные слои в системах металлизации
23.2. Барьерные слои в системе металлизации
23.3. Высокопроводящие слои в системах металлизации
Глава 24. Технология сборки микросхем
24.1. Коммутационные платы микросборок
24.1.1. Тонкопленочные платы
24.1.2. Тонкопленочные платы на основе анодированного алюминия,
24.1.3. Толстопленочные платы
24.1.4. Платы на основе многослойной керамики
24.1.5. Платы на основе полиимидной пленки
24.2. Крепление подложек и кристаллов
24.3. Микросварка
24.4. Электрический монтаж кристаллов ИС на коммутационных платах
24.4.1. Проволочный монтаж
24.4.2. Ленточный монтаж
24.4.3. Монтаж с помощью жестких объемных выводов
24.5. Типы корпусов процессоров
24.6. Многокристальные сборки
Глава 25. Технологии изготовления СБИС
25.1. Основы технологии производства n-МОП СБИС
25.2. ЛОКОС-процесс и изоляция активных областей
25.3. Основы технологии производства КМОП СБИС
25.4. Технология производства биполярных СБИС
Список рекомендуемой литературы


Оставьте отзыв о товаре
Рекомендуем

Артикул 00-01025903

Алгоритмы: построение и анализ

Алгоритмы: построение и анализ

4500 руб.

Купить
×

Диски

Журналы и бланки

Журналы для автодорог, дорожного хозяйстваЖурналы для АЗС и АЗГСЖурналы для аптекЖурналы для архивовЖурналы для аттракционовЖурналы для банковЖурналы для бассейновЖурналы для бухгалтерииЖурналы для газовых хозяйств, газораспределительных систем, ГАЗПРОМаЖурналы для гостиниц, общежитий, хостеловЖурналы для грузоподъемных механизмовЖурналы для делопроизводстваЖурналы для драгметалловЖурналы для ЖКХЖурналы для канатных дорог, фуникулеровЖурналы для кладбищЖурналы для конструкторских, научно-техническая документацияЖурналы для лесных хозяйствЖурналы для лифтовЖурналы для медицинских учрежденийЖурналы для МЧСЖурналы для нефтебазЖурналы для нефтепромысла, нефтепроводовЖурналы для образовательных учрежденийЖурналы для парикмахерских, салонов красоты, маникюрных, педикюрных кабинетовЖурналы для проверки и контроля госорганами, контролирующими организациямиЖурналы для промышленностиЖурналы для работ с повышенной опасностьюЖурналы для регулирования алкогольного рынкаЖурналы для сельских хозяйств, ветеринарииЖурналы для складовЖурналы для снегоплавильных пунктовЖурналы для стройки, строительстваЖурналы для тепловых энергоустановок, котельныхЖурналы для транспортаЖурналы для туризмаЖурналы для учреждений культуры, библиотек, музеевЖурналы для церкви, религиозных организацийЖурналы для шахт, рудников, метрополитенов, подземных сооруженийЖурналы для электроустановокЖурналы и бланки для армии, вооруженных силЖурналы и бланки для нотариусов, юристов, адвокатовЖурналы и бланки для организаций пищевого производства, общепита и пищевых блоковЖурналы и бланки для организаций, занимающихся охраной объектов и частных лицЖурналы и бланки для ФТС РФ (таможни)Журналы и бланки по экологииЖурналы и бланки, используемые в торговле, бытовом обслуживанииЖурналы и бланки, относящиеся к нескольким отраслямЖурналы по геодезии, геологииЖурналы по метрологииЖурналы по охране труда и технике безопасностиЖурналы по пожарной безопасностиЖурналы по психологииЖурналы по санитарии, проверкам СЭСЖурналы по связиЖурналы по эксплуатации зданий и сооруженийЖурналы по энергетикеЖурналы, бланки, формы для кадровых работЖурналы, бланки, формы документов для органов прокуратуры и суда, минюста, пенитенциарной системыЖурналы, бланки, формы документов МВД РФ, РосгвардииКомплекты документов и журналовОбложки для журналов и удостоверенийСамокопирующиеся бланки

Знаки безопасности, таблички, стенды

Вспомогательные знаки, таблички-наклейкиЗапрещающие знакиЗнаки для инвалидовЗнаки для уборки и сбора мусораЗнаки на автомобильЗнаки пожарной безопасностиЗнаки электробезопасностиИнформационные знаки для строительных площадокМедицинские и санитарные знакиНаклейкиПредписывающие знакиПредупреждающие знакиСтендыУказательные знакиЭвакуационные знакиЮмористические знаки

Календари

Книги

Букинистическая литератураГОСТы, ОСТыДетская литератураДомашний кругДругоеИскусство. Культура. ФилологияКниги в электронном видеКниги издательства "Комсомольская правда"Компьютеры и интернетКосмосНаука. Техника. МедицинаНормативные правовые актыОбщественные и гуманитарные наукиОхрана труда, обеспечение безопасностиПодарочные книгиПутешествия. Отдых. Хобби. СпортРелигия. Оккультизм. ЭзотерикаРостехнадзорСанПины, СП, МУ, МР, ГНСборники рецептур блюд для предприятий общественного питанияСНиП, СП, СО,СТО, РД, НП, ПБ, МДК, МДС, ВСНУчебный годХудожественная литератураЭкономическая литератураЭнциклопедии, справочники, словари

Курвиметры

Ленты с тиснением

Линейки

Авиационные и военные линейкиДетские линейкиМедицинские линейкиПортновские линейкиТехнические линейкиТрафареты с чертежными шрифтамиЧертежные линейки

Маркировочная продукция

Маркировка трубопровода "Вода"Маркировка трубопровода "Воздух"Маркировка трубопровода "Газ"Маркировка трубопровода "Жидкость"Маркировка трубопровода "Кислота"Маркировка трубопровода "Пар"Маркировка трубопровода "Прочие вещества"Маркировка трубопровода "Щелочь"

Материалы для типографии (мини-типографии)

Бумага для оргтехникиКлейПереплетные материалыПленка для печати и ламинацииФольга для тиснения

Металлические изделия (металлическая мебель, конструкции, навесы)

Металлическая мебельМеталлические изделия для дачи и дома

Носки и портянки

Одноразовая одежда

Охрана труда

Печати и штампы

Медицинские печати и штампыОснастки, самонаборные штампыПечати и штампы для бухгалтерии и делопроизводстваПечати и штампы для водителейПечать фирмы (организации, компании, подразделения, отдела)Штампы по техническому контролю, учету и хранению

Плакаты

Погоны министерств и ведомств

Подарки нашим покупателям

Полотенца

Портреты знаменитых людей

Сувениры

Бизнес сувениры, корпоративные подаркиБрелкиГимн России. Эксклюзивное графическое оформление в багетном обрамленииГудки и Рожки охотничьиЗажигалкиКружки для термопереносаКружки подарочныеПодарочные наборы игрПредметы интерьераСувениры, подарки для мужчин

Тир

Рогатки спортивные

Ткани

Товары "Юнармия"

Береты

Товары для дома и офиса

Грамоты и благодарностиИндикаторы стерилизацииКанцелярские товарыКаски, защитные очки, маскиКухонные принадлежностиОгнетушителиПланы эвакуацииСамоспасателиСредства дезинфекцииТовары для ремонтаФитолампы и прожекторыХозяйственные товарыЭлектроудлинители, тройники, катушкиЭлектроустановочные изделия

Товары для здоровья, БАДы

Аюрведические товарыСредства гигиены, косметика из минералов Мертвого моря

Товары для развития, игрушки

Бумажные модели

Товары для спорта, туризма и охоты

Походные сумки, рюкзаки и мешочки для храненияСигнальное снаряжениеТовары для фитнеса

Удостоверения, Свидетельства

Зачетные книжки, студенческие билетыУдостоверения для спортивных секцийУдостоверения рабочих различных специальностей

Упаковка, упаковочные материалы

Коробки картонные

Членские книжки

ГК, ГСК, членские книжки, пропуска и пр.Садоводческие книжки, членские книжки СНТ
;