Справочник по технологии микроэлектронных устройств

В наличии Цена за шт.

750

Количество
Купить

Акции и скидки Поделиться


  • Артикул:00-01102122
  • Автор: Готра З.Ю.
  • Обложка: Твердая обложка
  • Издательство: Каменяр (все книги издательства)
  • Город: Львов
  • Страниц: 287
  • Формат: 84х108 1/32
  • Год: 1986
  • Вес: 436 г
Развернуть ▼

В справочнике приводятся данные о материалах, которые применяются при производстве микроэлектронных устройств, о способах очистки, механической, химической и электромеханической обработки. Рассмотрены вопросы диффузии, эпитаксии, выращивания монокристаллов полупроводников, вакуумного напыления, литографии и сборки в производстве микроэлектронных устройств. Для специалистов, работающих в области технологии микроэлектронных устройств, может быть полезен учащимся профтехучилищ соответствующего профиля.

Содержание
Предисловие
Глава 1. Основные материалы для полупроводниковых микроэлектронных устройств
1.1. Структура кристаллического твердого тела
1.2. Полупроводниковые материалы
1.3. Электродные материалы
Глава 2. Методы получения, очистки и легирования полупроводниковых материалов
2.1. Методы направленной кристаллизации из расплавов
2.2. Методы получения равномерно легированных монокристаллов полупроводников
2.3. Программирование кристаллизационного процесса (изменение условий роста монокристаллов)
2.4. Маркировка и основные свойства поликристаллических и монокристаллических полупроводников
Глава 3. Механическая обработка полупроводниковых материалов
3.1. Кристаллографическая ориентация полупроводниковых слитков
3.2. Материалы для наклейки слитков, пластин и кристаллов
3.3. Виды резки полупроводниковых материалов
3.4. Материалы для механической шлифовки и полировки полупроводниковых материалов
3.5. Шлифовка и полировка пластин
3.6. Разделение пластин
Глава 4. Полупроводниковые подложки и физико-химические методы обработки их поверхности
4.1. Требования к полупроводниковым подложкам
4.2. Методы контроля качества полупроводниковых подложек
4.3. Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников
4.4. Геттерирование примесей и дефектов в полупроводниковых подложках
4.5. Методы получения окисных пленок кремния
Глава 5. Диффузия в полупроводниках
5.1. Физические основы процесса диффузии
5.2. Материалы для проведения диффузионных процессов в полупроводниках
5.3. Способы проведения диффузии
Глава 6. Технология эпитаксиальных слоев
6.1. Физические основы процесса эпитаксии
6.2. Методы проведения эпитаксии
6.3. Легирование в процессе эпитаксии
6.4. Контроль параметров эпитаксиальных слоев
Глава 7. Фотошаблоны и технология их изготовления
7.1. Классификация фотошаблонов и общая технологическая схема их изготовления
7.2. Основное технологическое оборудование для изготовления фотошаблонов
7.3. Металлизированные фотошаблоны
7.4. Цветные фотошаблоны
Глава 8 литографические процессы в технологии микроэлектронных устройств
8.1. Фотолитография
8.2. Электронно-лучевая литография (ЭЛЛ)
8.3. Рентгеновская литография
8.4. Ионно-лучевая и голографическая литография
8.5. Процессы травления в литографии
Глава 9. Методы и средства получения тонких пленок
9.1. Термовакуумный метод получения тонких пленок
9.2. Методы осаждения пленок из ионизированных потоков многоатомных частиц
9.3. Метод ионного покрытия
9.4. Осаждение пленок из ионных пучков
9.5. Катодное, ионно-плазменное и магнетронное распыление
9.6. Технология и параметры проводящих, резистивных тонких пленок
Глава 10. Сборка микроэлектронных устройств
10.1. Крепление кристаллов и контактирование выводов
10.2. Ультразвуковая сварка
10.3. Технология термокомпрессионной и УЗ сварки
10.4. Припои и технология пайки при сборке МЭУ
10.5. Беспроволочный монтаж элементов МЭУ
Литература


Оставьте отзыв о товаре
Рекомендуем
×

Диски

Журналы и бланки

Журналы для автодорог, дорожного хозяйстваЖурналы для АЗС и АЗГСЖурналы для аптекЖурналы для архивовЖурналы для аттракционовЖурналы для банковЖурналы для бассейновЖурналы для бухгалтерииЖурналы для газовых хозяйств, газораспределительных систем, ГАЗПРОМаЖурналы для гостиниц, общежитий, хостеловЖурналы для грузоподъемных механизмовЖурналы для делопроизводстваЖурналы для драгметалловЖурналы для ЖКХЖурналы для канатных дорог, фуникулеровЖурналы для кладбищЖурналы для конструкторских, научно-техническая документацияЖурналы для лесных хозяйствЖурналы для лифтовЖурналы для медицинских учрежденийЖурналы для МЧСЖурналы для нефтебазЖурналы для нефтепромысла, нефтепроводовЖурналы для образовательных учрежденийЖурналы для парикмахерских, салонов красоты, маникюрных, педикюрных кабинетовЖурналы для проверки и контроля госорганами, контролирующими организациямиЖурналы для промышленностиЖурналы для работ с повышенной опасностьюЖурналы для регулирования алкогольного рынкаЖурналы для сельских хозяйств, ветеринарииЖурналы для складовЖурналы для снегоплавильных пунктовЖурналы для стройки, строительстваЖурналы для тепловых энергоустановок, котельныхЖурналы для транспортаЖурналы для туризмаЖурналы для учреждений культуры, библиотек, музеевЖурналы для церкви, религиозных организацийЖурналы для шахт, рудников, метрополитенов, подземных сооруженийЖурналы для электроустановокЖурналы и бланки для армии, вооруженных силЖурналы и бланки для нотариусов, юристов, адвокатовЖурналы и бланки для организаций пищевого производства, общепита и пищевых блоковЖурналы и бланки для организаций, занимающихся охраной объектов и частных лицЖурналы и бланки для ФТС РФ (таможни)Журналы и бланки по экологииЖурналы и бланки, используемые в торговле, бытовом обслуживанииЖурналы и бланки, относящиеся к нескольким отраслямЖурналы по геодезии, геологииЖурналы по метрологииЖурналы по охране труда и технике безопасностиЖурналы по пожарной безопасностиЖурналы по психологииЖурналы по санитарии, проверкам СЭСЖурналы по связиЖурналы по эксплуатации зданий и сооруженийЖурналы по энергетикеЖурналы, бланки, формы для кадровых работЖурналы, бланки, формы документов для органов прокуратуры и суда, минюста, пенитенциарной системыЖурналы, бланки, формы документов МВД РФ, РосгвардииКомплекты документов и журналовОбложки для журналов и удостоверенийСамокопирующиеся бланки

Знаки безопасности, таблички, стенды

Вспомогательные знаки, таблички-наклейкиЗапрещающие знакиЗнаки для инвалидовЗнаки для уборки и сбора мусораЗнаки на автомобильЗнаки пожарной безопасностиЗнаки электробезопасностиИнформационные знаки для строительных площадокМедицинские и санитарные знакиНаклейкиПредписывающие знакиПредупреждающие знакиСтендыУказательные знакиЭвакуационные знакиЮмористические знаки

Календари

Книги

Букинистическая литератураГОСТы, ОСТыДетская литератураДомашний кругДругоеИскусство. Культура. ФилологияКниги в электронном видеКниги издательства "Комсомольская правда"Компьютеры и интернетКосмосНаука. Техника. МедицинаНормативные правовые актыОбщественные и гуманитарные наукиОхрана труда, обеспечение безопасностиПодарочные книгиПутешествия. Отдых. Хобби. СпортРелигия. Оккультизм. ЭзотерикаРостехнадзорСанПины, СП, МУ, МР, ГНСборники рецептур блюд для предприятий общественного питанияСНиП, СП, СО,СТО, РД, НП, ПБ, МДК, МДС, ВСНУчебный годХудожественная литератураЭкономическая литератураЭнциклопедии, справочники, словари

Курвиметры

Ленты с тиснением

Линейки

Авиационные и военные линейкиДетские линейкиМедицинские линейкиПортновские линейкиТехнические линейкиТрафареты с чертежными шрифтамиЧертежные линейки

Маркировочная продукция

Маркировка трубопровода "Вода"Маркировка трубопровода "Воздух"Маркировка трубопровода "Газ"Маркировка трубопровода "Жидкость"Маркировка трубопровода "Кислота"Маркировка трубопровода "Пар"Маркировка трубопровода "Прочие вещества"Маркировка трубопровода "Щелочь"

Материалы для типографии (мини-типографии)

Бумага для оргтехникиКлейПереплетные материалыПленка для печати и ламинацииФольга для тиснения

Металлические изделия (металлическая мебель, конструкции, навесы)

Металлическая мебельМеталлические изделия для дачи и дома

Носки и портянки

Одноразовая одежда

Охрана труда

Печати и штампы

Медицинские печати и штампыОснастки, самонаборные штампыПечати и штампы для бухгалтерии и делопроизводстваПечати и штампы для водителейПечать фирмы (организации, компании, подразделения, отдела)Штампы по техническому контролю, учету и хранению

Плакаты

Погоны министерств и ведомств

Подарки нашим покупателям

Полотенца

Портреты знаменитых людей

Сувениры

Бизнес сувениры, корпоративные подаркиБрелкиГимн России. Эксклюзивное графическое оформление в багетном обрамленииГудки и Рожки охотничьиЗажигалкиКружки для термопереносаКружки подарочныеПодарочные наборы игрПредметы интерьераСувениры, подарки для мужчин

Тир

Рогатки спортивные

Ткани

Товары "Юнармия"

Береты

Товары для дома и офиса

Грамоты и благодарностиИндикаторы стерилизацииКанцелярские товарыКаски, защитные очки, маскиКухонные принадлежностиОгнетушителиПланы эвакуацииСамоспасателиСредства дезинфекцииТовары для ремонтаФитолампы и прожекторыХозяйственные товарыЭлектроудлинители, тройники, катушкиЭлектроустановочные изделия

Товары для здоровья, БАДы

Аюрведические товарыСредства гигиены, косметика из минералов Мертвого моря

Товары для развития, игрушки

Бумажные модели

Товары для спорта, туризма и охоты

Походные сумки, рюкзаки и мешочки для храненияСигнальное снаряжениеТовары для фитнеса

Удостоверения, Свидетельства

Зачетные книжки, студенческие билетыУдостоверения для спортивных секцийУдостоверения рабочих различных специальностей

Упаковка, упаковочные материалы

Коробки картонные

Членские книжки

ГК, ГСК, членские книжки, пропуска и пр.Садоводческие книжки, членские книжки СНТ
;