- Артикул:00-01025058
- Автор: Б.И.Королев, В.И.Кузнецов, А.И.Пипко, В.Я.Плисковский
- Обложка: Твердая обложка
- Издательство: Энергия (все книги издательства)
- Город: Москва
- Страниц: 416
- Формат: 84х108 1/32
- Год: 1975
- Вес: 653 г
Развернуть ▼
В книге описываются современные средства откачки, измерения полного и парциального давлений, методы измерения газовых потоков и обнаружения мест натекания. Рассматриваются принципы построения вакуумных систем и конструкции их основных элементов. Приводятся методы расчета вакуумных систем, сопровождаемые практическими примерами.
Предварительно излагаются необходимые сведения по физике разреженных газов, кинетической теории и взаимодействию между твердыми телами и соприкасающимися с ними газами.
Материал дается применительно к технике получения вакуума в производстве электровакуумных и полупроводниковых приборов.
Книга рассчитана на учащихся электровакуумных и радиотехнических техникумов, а также может служить пособием для лиц, имеющих дело с вакуумной техникой.
Оглавление
Предисловие
Введение
История развития вакуумной техники. Области применения вакуумной техники
Часть первая Физика разреженных газов
Глава первая. Газовые законы
1-1. Уравнение состояния идеальных газов
1-2. Законы идеальных газов
1-3. Уравнение состояния реальных газов
1-4. Понятия «газ» и «пар»
1-5. Испарение и конденсация
1-6. О применимости газовых законов к парам
1-7. Давление насыщенных паров в вакуумной системе, температура отдельных участков которой неодинакова
Глава вторая. Элементы кинетической теории газов
2-1. Тепловое движение молекул (атомов)
2-2. Давление и уравнение состояния газов с точки зрения кинетической теории
2-3. Закон распределения молекул газа по скоростям
2-4. Число молекул газа, ударяющихся в единицу поверхности стенки в единицу времени
Глава третья. Важнейшие свойства газов в зависимости от степени вакуума
3-1. Средняя длина свободного пути
3-2. Степени вакуума
3-3. Путь молекул газа при тепловом движении
3-4. Скорость испарения и поток пара
3-5. Диффузия газов
3-6. Теплопроводность газов
3-7. Внутреннее трение газов
3-8. Режимы течения газа по трубопроводу
Глава четвертая. Взаимодействие газов с твердыми телами
4-1. О поглощении и выделении газов твердыми телами
4-2. Виды сорбции
4-3. Адсорбция
4-4. Абсорбция
4-5. Диффузия газов в твердых телах и проницаемость материалов
4-6. Десорбция
Глава пятая. Теоретические основы процесса откачки
5-1. Понятие о процессе откачки вакуумной системы
5-2. Быстрота откачки объекта и быстрота действия насоса
5-3. Поток газа
5-4. Сопротивление и проводимость вакуумного трубопровода
5-5. Основное уравнение вакуумной техники
5-6. Процессы изменения состояния газа в вакуумных системах
5-7. Критерии определения границ режимов течения газа в трубопроводах
Часть вторая Техника получения вакуума
Глава шестая. Общие сведения о вакуумных насосах
6-1. Классификация вакуумных насосов
6-2. Основные параметры и характеристики вакуумных насосов
6-3. Области действия вакуумных насосов
Глава седьмая. Вакуумные насосы
7-1. Механические насосы с масляным уплотнением
7-2. Двухроторные вакуумные насосы
7-3. Турбомолекулярные насосы
7-4. Пароструйные насосы
7-5. Адсорбционные насосы
7-6. Испарительные геттерные насосы
7-7. Магнитные электроразрядные насосы
Глава восьмая. Ловушки
8-1. Назначение и основные требования, предъявляемые к ловушкам
8-2. Механические ловушки
8-3. Низкотемпературные охлаждаемые ловушки
8-4. Адсорбционные ловушки
8-5. Электрические ловушки
Часть третья Техника измерения полного и парциальных давлений газа
Глава девятая. Приборы для измерения полного давления разреженного газа (манометры)
9-1. Классификация манометров
9-2. Жидкостные U-образные манометры
9-3. Компрессионные манометры
9-4. Деформационные манометры
9-5. Тепловые манометры
9-6. Электронные ионизационные манометры
9-7. Магнитные электроразрядные манометры
9-8. Оценка давления по свечению при электрическом разряде в газе
Глава десятая. Аппаратура для измерения парциальных давлений газов
10-1. Введение
10-2. Спектр масс и его расшифровка
10-3. Статические масс-спектрометры с разделением ионов в магнитном поле
10-4. Времяпролетный масс-спектрометр (хронотрон)
10-5. Омегатронный измеритель парциальных давлений
10-6. Квадрупольный и монополярный масс-спектрометры (электрические фильтры масс)
10-7. Панорамный масс-спектрометр (фарвитрон)
Глава одиннадцатая. Методы измерения потока разреженного газа
11-1. Классификация методов
11-2. Метод накопления
11-3. Методы калиброванного сопротивления
11-4. Метод порционного перепуска газа
Глава двенадцатая. Течеискание
12-1. Герметичность вакуумных систем
12-2. Методы течеискания
12-3. Метод опрессовки
12-4. Люминесцентный метод
12-5. Искровой течеискатель
12-6. Манометрический метод
12-7. Галогенный течеискатель
12-8. Масс-спектрометрический течеискатель
Часть четвертая Вакуумные системы и их элементы
Глава тринадцатая. Принципы построения вакуумных систем
13-1. Общие сведения
13-2. Основные требования, предъявляемые к вакуумным системам
13-3. Вакуумные системы откачных постов с давлением выше 6,5 10-5 Па
13-4. Вакуумные системы откачных постов с давлением ниже 6,5 10-5 Па
13-5. Вакуумные системы карусельных и конвейерных машин для откачки ЭВП
13-6. Вакуумные системы оборудования для нанесения тонких пленок
13-7. Централизованная форвакуумная система
Глава четырнадцатая. Элементы вакуумных систем
14-1. Разборные вакуумные соединения
14-2. Устройства для передачи движения в вакуумный объем
14-3. Электрические вакуумные вводы
14-4. Смотровые окна
14-5. Откачные гнезда
Глава пятнадцатая. Коммутационная аппаратура вакуумных систем
15-1. Основные требования, предъявляемые к коммутационной аппаратуре
15-2. Коммутационная аппаратура вакуумных систем с давлением выше 6,5 10-5 Па
15-3. Коммутационная аппаратура вакуумных систем с давлением ниже 6,5 10-5 Па
15-4. Золотники
15-5. Устройства для напуска газов в вакуумные системы
Часть пятая Расчет вакуумных систем
Глава шестнадцатая. Проводимость вакуумных трубопроводов
16-1. Вязкостный режим течения газа
16-2. Молекулярно-вязкостный режим течения газа
16-3. Молекулярный режим течения газа
Глава семнадцатая. Расчет длительности откачки
17-1. Длительность откачки вакуумной системы
17-2. Длительность откачки при переменном газовом потоке
Глава восемнадцатая. Выбор средств откачки
18-1. Определение необходимой быстроты действия вакуумного насоса
18-2. Согласование насосов, работающих последовательно
18-3. Расчет форвакуумного баллона
Глава девятнадцатая. Методика расчета вакуумных систем
19-1. Постановка задачи
19-2. Расчет вакуумной системы электрической печи отжига деталей ЭВП
Приложения
Список литературы
Алфавитный указатель
Рекомендуем
