- Артикул:00-01097281
- Автор: Л.В. Павлов
- Обложка: Твердая обложка
- Издательство: Высшая школа (все книги издательства)
- Город: Москва
- Страниц: 206
- Формат: 60х90 1/16
- Год: 1975
- Вес: 334 г
- Серия: Учебное пособие для ВУЗов (все книги серии)
В книге изложены основные методы определения электрофизических параметров: проводимости; концентрации, подвижности диффузионной длины и времени жизни носителей заряда; скорости поверхностной рекомбинации; поверхностного потенциала и др.; показаны преимущества и недостатки различных методов определения параметров.
Содержание
Предисловие
Глава I. Измерение удельной электрической проводимости полупроводников
§ 1.1. Особенности измерения
§ 1.2. Четырехзондовый метод измерения
§ 1.3. Двухзондовый метод измерения
§ 1.4. Однозондовый метод измерения распределения удельного сопротивления
§ 1.5. Измерение проводимости пластин произвольной геометрической формы
§ 1.6. Зондовые методы измерения проводимости эпитаксиальных пленок
§ 1.7. Высокочастотные бесконтактные методы измерения
§ 1.8. Определение ширины запрещенной зоны и отношения подвижностей носителей заряда по температурной зависимости проводимости
Глава II. Определение параметров полупроводников путем измерений эффекта Холла
§ 2.1. Эффект Холла и сопутствующие ему явления
§ 2.2. Методы измерения эффекта Холла
§ 2.3. Определение концентрации свободных носителей заряда, ширины запрещенной зоны и концентрации донорной и акцепторной примесей
§ 2.4. Определение отношения подвижностей электронов и дырок по измерениям эффекта Холла
§ 2.5. Определение концентрации доноров и акцепторов по температурной зависимости подвижности
§ 2.6. Эффект Холла на образцах с неоднородным распределением концентрации носителей заряда
§ 2.7. Определение параметров по измерениям тока Холла
Глава III. Измерение параметров неравновесных носителей заряда
§ 3.1. Параметры
§ 3.2. Методы измерения дрейфовой подвижности
§ 3.3. Определение коэффициента диффузии
§ 3.4. Измерение диффузионной длины методом подвижного светового зонда
§ 3.5. Разновидности метода подвижного светового зонда
§ 3.6. Метод движущегося светового луча
§ 3.7. Измерение времени жизни методом модуляции проводимости точечным контактом
Глава IV. Определение параметров полупроводников путем измерений фотопроводимости и фотомагнитоэлектрического эффекта
§ 4.1. Электронные переходы и фотопроводимость
§ 4.2. Измерение стационарной фотопроводимости
§ 4.3. Спектральные методы определения параметров
§ 4.4. Определение параметров по измерениям фото э. д. с.
§ 4.5. Определение времени жизни, скорости поверхностной рекомбинации и коэффициента диффузии методом затухания фотопроводимости
§ 4.6. Фазовый и частотный методы измерения времени жизни
§ 4.7. Фотомагнитоэлектрический эффект
§ 4.8. Определение времени жизни, диффузионной длины, подвижности носителей заряда и скорости поверхностной рекомбинации по фотомагнитоэлектрическому эффекту
Глава V. Измерение поверхностных характеристик полупроводников
§ 5.1. Поверхностные состояния и реальная поверхность кристалла
§ 5.2. Поверхностный потенциал и приповерхностный объемный заряд
§ 5.3. Поверхностная проводимость
§ 5.4. Эффект поля
§ 5.5. Дифференциальная поверхностная емкость
§ 5.6. Зависимость дифференциальной емкости от частоты
§ 5.7. Определение концентрации поверхностных уровней, поверхностного потенциала, концентрации примеси и времени жизни неосновных носителей заряда
Литература
Приложения