- Артикул:00-01035637
- Автор: Комраков Б.М., Шапочник Б.А.
- Обложка: Мягкий переплет
- Издательство: Машиностроение (все книги издательства)
- Город: Москва
- Страниц: 136
- Формат: 84х108 1/32
- Год: 1986
- Вес: 172 г
- Серия: Библиотека приборостроителя (все книги серии)
Развернуть ▼
Изложен комплекс вопросов по измерению толщины, показателя преломления, дисперсии и других параметров оптических покрытий, используемых в оптоэлектронике и микроэлектронике. Рассмотрены различные методы измерения.
Книга предназначена для инженерно-технических работников оптического приборостроения и микроэлектронной техники, занимающихся вопросами контроля оптических покрытий.
Оглавление
Предисловие
Введение
Глава 1. Теоретические основы оптических измерений параметров тонкослойных покрытий и важнейшие сведения об измерительном процессе
1. Параметры покрытий
2. Отражение и преломление света тонкими слоями
3. Сведения об измерениях
Глава 2. Измерение толщины покрытий
1. Интерферометрия в белом свете
2. Контроль толщины покрытий на двухлучевых интерферометрах
3. Многолучевая интерферометрия
4. Поляризационная интерферометрия
5. Контроль слоев переменной толщины
Глава 3. Определение оптических постоянных
1. Рефрактометрия внутреннего отражения
2. Определение показателя преломления по углу Брюстера при внешнем отражении от покрытия
3. Использование иммерсионных жидкостей
4. Измерение оптических постоянных в слоях переменной толщины
5. Контроль поглощения оптических покрытий
Глава 4. Одновременное определение толщины и оптических постоянных
1. Эллипсометрия
2. Поляриметрические измерения
3. Использование коэффициентов отражения и пропускания подложки с покрытием
4. Методы переменного угла падения
5. Метод волноводных мод
Глава 5. Спектрофотометрические измерения
1. Спектральная аппаратура
2. Измерение спектрального коэффициента отражения
3. Измерение спектрального коэффициента пропускания
4. Одновременное измерение спектральных коэффициентов пропускания и отражения
5. Анализ оптической неоднородности покрытий
6. Метод нарушенного полного внутреннего отражения
Рекомендуем
