Физические основы электронной и ионной технологии

В наличии Цена за шт.

950

Количество
Купить

Акции и скидки Поделиться


  • Артикул:00-01025648
  • Автор: И.А. Аброян, А.Н. Андронов, А.И. Титов
  • Обложка: Твердая обложка
  • Издательство: Высшая школа (все книги издательства)
  • Город: Москва
  • Страниц: 320
  • Формат: 84x108/32
  • Год: 1984
  • Вес: 534 г
Развернуть ▼

В книге изложены физические основы взаимодействия ионов и электронов с веществом; рассмотрены возможности применения этих процессов в технологии изготовления приборов, интегральных микросхем на основе полупроводниковых и пленочных материалов и др.

Оглавление
Предисловие
Введение
Глава 1. Основные явления при взаимодействии ускоренных электронов и ионов с твердым телом
1.1. Процессы, происходящие при бомбардировке вещества электронами, и возможности их использования в технологии
1.2. Основные процессы, происходящие при бомбардировке вещества ионами, возможности их использования в технологии
Глава 2. Движение ускоренных ионов в веществе
2.1. Торможение и рассеяние ионов
2.2. Пробеги ионов в твердом теле и их распределение
2.3. Взаимодействие ионов с монокристаллами. Каналирование
Глава 3. Образование радиационных дефектов при облучении ионами
3.1. Типы дефектов. Генерация дефектов
3.2. Вторичные процессы при образовании дефектов
3.3. Отжиг радиационных дефектов
Глава 4. Изменение электрических свойств твердых тел в результате ионной бомбардировки. Ионная имплантация в полупроводники
4.1. Влияние ионного облучения на проводимость металлов
4.2. Ионное легирование полупроводников и изменение их электрических свойств при облучении
4.3. Активизация проводимости в имплантированных слоях кремния и арсенида галлия термическим отжигом
4.4. Результаты экспериментального исследования распределений по глубине имплантированной примеси и свободных носителей заряда
4.5. Импульсный отжиг имплантированных слоев
4.6. Некоторые примеры использования имплантации для создания полупроводниковых структур
4.7. Конструктивные особенности оборудования для изготовления p-n-структур ионной имплантацией. Ограничения в применении метода ионной имплантации
4.8. Радиационно-стимулированная диффузия
Глава 5. Модификация свойств твердых тел ионной бомбардировкой
5.1. Изменение элементного состава при больших дозах облучения
5.2. Структурные превращения при ионной бомбардировке
5.3. Ионный синтез. Ионная металлургия. Ионная эпитаксия
5.4. Оптические свойства
5.5. Магнитные свойства
5.6. Химические свойства
5.7. Механические свойства
5.8. Фазовые переходы
5.9. Взаимодействие атомных частиц с облученными материалами, эмиссионные явления
Глава 6. Распыление твердых тел ионами
6.1. Основные закономерности и механизм распыления
6.2. Удаление тонких слоев ионным травлением
6.3. Получение пленок
6.4. Аппаратура
Глава 7. Движение ускоренных электронов в веществе
7.1. Тормозная способность вещества и пробег электронов
7.2. Угловое рассеяние и пространственное распределение электронов
7.3. Экспериментальные закономерности поглощения электронов веществом
Глава 8. Основы электронно-лучевой обработки материалов
8.1. Тепловое воздействие электронного пучка
8.2. Электронно-лучевая плавка (ЭЛП)
8.3. Электронно-лучевое испарение (ЭЛИ)
8.4. Электронно-лучевая сварка (ЭЛС)
8.5. Термическая электронно-лучевая обработка
8.6. Нетермическая электронно-лучевая обработка (ЭЛО)



Отзывы 1-1 из 1
14.08.20 Антон Книга пришла очень быстро! Ожидал, что будет такая старенькая задрыпанная книжечка, но нет. К моему удивлению книга была в отличном состоянии! Совершенно новый переплёт, никто её не открывал вообще) Короче я доволен! Спасибо магазину!
Оставьте отзыв о товаре
Рекомендуем

Артикул 00-01032300

Гравитация. Том 1

Гравитация. Том 1

1050 руб.

Купить
×

Диски

Журналы и бланки

Журналы для автодорог, дорожного хозяйстваЖурналы для АЗС и АЗГСЖурналы для аптекЖурналы для архивовЖурналы для аттракционовЖурналы для банковЖурналы для бассейновЖурналы для бухгалтерииЖурналы для газовых хозяйств, газораспределительных систем, ГАЗПРОМаЖурналы для гостиниц, общежитий, хостеловЖурналы для грузоподъемных механизмовЖурналы для делопроизводстваЖурналы для драгметалловЖурналы для ЖКХЖурналы для канатных дорог, фуникулеровЖурналы для кладбищЖурналы для конструкторских, научно-техническая документацияЖурналы для лесных хозяйствЖурналы для лифтовЖурналы для медицинских учрежденийЖурналы для МЧСЖурналы для нефтебазЖурналы для нефтепромысла, нефтепроводовЖурналы для образовательных учрежденийЖурналы для парикмахерских, салонов красоты, маникюрных, педикюрных кабинетовЖурналы для проверки и контроля госорганами, контролирующими организациямиЖурналы для промышленностиЖурналы для работ с повышенной опасностьюЖурналы для регулирования алкогольного рынкаЖурналы для сельских хозяйств, ветеринарииЖурналы для складовЖурналы для снегоплавильных пунктовЖурналы для стройки, строительстваЖурналы для тепловых энергоустановок, котельныхЖурналы для транспортаЖурналы для туризмаЖурналы для учреждений культуры, библиотек, музеевЖурналы для церкви, религиозных организацийЖурналы для шахт, рудников, метрополитенов, подземных сооруженийЖурналы для электроустановокЖурналы и бланки для армии, вооруженных силЖурналы и бланки для нотариусов, юристов, адвокатовЖурналы и бланки для организаций пищевого производства, общепита и пищевых блоковЖурналы и бланки для организаций, занимающихся охраной объектов и частных лицЖурналы и бланки для ФТС РФ (таможни)Журналы и бланки по экологииЖурналы и бланки, используемые в торговле, бытовом обслуживанииЖурналы и бланки, относящиеся к нескольким отраслямЖурналы по геодезии, геологииЖурналы по метрологииЖурналы по охране труда и технике безопасностиЖурналы по пожарной безопасностиЖурналы по психологииЖурналы по санитарии, проверкам СЭСЖурналы по связиЖурналы по эксплуатации зданий и сооруженийЖурналы по энергетикеЖурналы, бланки, формы для кадровых работЖурналы, бланки, формы документов для органов прокуратуры и суда, минюста, пенитенциарной системыЖурналы, бланки, формы документов МВД РФ, РосгвардииКомплекты документов и журналовОбложки для журналов и удостоверенийСамокопирующиеся бланки

Знаки безопасности, таблички, стенды

Вспомогательные знаки, таблички-наклейкиЗапрещающие знакиЗнаки для инвалидовЗнаки для уборки и сбора мусораЗнаки на автомобильЗнаки пожарной безопасностиЗнаки электробезопасностиИнформационные знаки для строительных площадокМедицинские и санитарные знакиНаклейкиПредписывающие знакиПредупреждающие знакиСтендыУказательные знакиЭвакуационные знакиЮмористические знаки

Календари

Книги

Букинистическая литератураГОСТы, ОСТыДетская литератураДомашний кругДругоеИскусство. Культура. ФилологияКниги в электронном видеКниги издательства "Комсомольская правда"Компьютеры и интернетКосмосНаука. Техника. МедицинаНормативные правовые актыОбщественные и гуманитарные наукиОхрана труда, обеспечение безопасностиПодарочные книгиПутешествия. Отдых. Хобби. СпортРелигия. Оккультизм. ЭзотерикаРостехнадзорСанПины, СП, МУ, МР, ГНСборники рецептур блюд для предприятий общественного питанияСНиП, СП, СО,СТО, РД, НП, ПБ, МДК, МДС, ВСНУчебный годХудожественная литератураЭкономическая литератураЭнциклопедии, справочники, словари

Курвиметры

Ленты с тиснением

Линейки

Авиационные и военные линейкиДетские линейкиМедицинские линейкиПортновские линейкиТехнические линейкиТрафареты с чертежными шрифтамиЧертежные линейки

Маркировочная продукция

Маркировка трубопровода "Вода"Маркировка трубопровода "Воздух"Маркировка трубопровода "Газ"Маркировка трубопровода "Жидкость"Маркировка трубопровода "Кислота"Маркировка трубопровода "Пар"Маркировка трубопровода "Прочие вещества"Маркировка трубопровода "Щелочь"

Материалы для типографии (мини-типографии)

Бумага для оргтехникиКлейПереплетные материалыПленка для печати и ламинацииФольга для тиснения

Металлические изделия (металлическая мебель, конструкции, навесы)

Металлическая мебельМеталлические изделия для дачи и дома

Носки и портянки

Одноразовая одежда

Охрана труда

Печати и штампы

Медицинские печати и штампыОснастки, самонаборные штампыПечати и штампы для бухгалтерии и делопроизводстваПечати и штампы для водителейПечать фирмы (организации, компании, подразделения, отдела)Штампы по техническому контролю, учету и хранению

Плакаты

Погоны министерств и ведомств

Подарки нашим покупателям

Полотенца

Портреты знаменитых людей

Сувениры

Бизнес сувениры, корпоративные подаркиБрелкиГимн России. Эксклюзивное графическое оформление в багетном обрамленииГудки и Рожки охотничьиЗажигалкиКружки для термопереносаКружки подарочныеПодарочные наборы игрПредметы интерьераСувениры, подарки для мужчин

Тир

Рогатки спортивные

Ткани

Товары "Юнармия"

Береты

Товары для дома и офиса

Грамоты и благодарностиИндикаторы стерилизацииКанцелярские товарыКаски, защитные очки, маскиКухонные принадлежностиОгнетушителиПланы эвакуацииСамоспасателиСредства дезинфекцииТовары для ремонтаФитолампы и прожекторыХозяйственные товарыЭлектроудлинители, тройники, катушкиЭлектроустановочные изделия

Товары для здоровья, БАДы

Аюрведические товарыСредства гигиены, косметика из минералов Мертвого моря

Товары для развития, игрушки

Бумажные модели

Товары для спорта, туризма и охоты

Походные сумки, рюкзаки и мешочки для храненияСигнальное снаряжениеТовары для фитнеса

Удостоверения, Свидетельства

Зачетные книжки, студенческие билетыУдостоверения для спортивных секцийУдостоверения рабочих различных специальностей

Упаковка, упаковочные материалы

Коробки картонные

Членские книжки

ГК, ГСК, членские книжки, пропуска и пр.Садоводческие книжки, членские книжки СНТ
;